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北方华创双响:离子注入机+12寸电镀设备


来源:bob手机网页版登录    发布时间:2025-06-05 21:56:50

  3月26日,北方华创在SEMICON China 2025大会上宣告进军离子注入设备商场,发布首款离子注入机Sirius MC 313。离子注入设备在芯片制作中至关重要,能高精度、高效率改动半导体资料电功能。

  据SEMI数据,2024年全球离子注入设备商场规模达276亿元,2030年有望升至307亿元,北方华创此举将撬动国内160亿元商场空间,助力我国半导体配备高端进阶。

  同日,北方华创发布首款12英寸电镀设备Ausip T830,标志其进军电镀设备商场。该设备专为硅通孔铜填充规划,用于2.5D/3D先进封装范畴,至此北方华创在先进封装范畴构建了完好互连解决方案。电镀是PVD后道工艺,与PVD设备协同作业,使用广泛。跟着先进封装和三维集成技能发展,电镀设备全球商场规模已达80 - 90亿元,且仍在扩张,估计未来几年打破百亿。

  北方华创的Ausip T830设备打破三十多项关键技能。设备支撑模块化定制和后续技能晋级,满意多样化需求。现在,该设备的电镀膜厚均匀性完成用户要求,可以有用填充孔直径2-12微米,孔深16-120微米的多种孔型产品。

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